打造国际一流光电装备工业研究院开拓成果转化新模式

随着半导体工业、生物医学等领域的迅猛发展,人们对纳米尺度物体的形貌表征需求与日俱增。传统光学显微镜受到光的衍射效应的制约,其分辨率极限为200 nm左右。然而,目前光学微球纳米显微镜受限于其放大率和数值孔径,通常需要在液体或固体浸没环境中才能够观察到亚50nm尺度的样品结构。