基于无氰镀金工艺的溶液循环泵研究

在晶圆电化学沉积过程中,无氰镀金工艺对循环泵提出了更高要求,通过对比分析磁悬浮泵、磁力泵、风囊泵和隔膜泵特性及结构,磁悬浮泵镀液循环脉动小,液流平稳,泵头不会发生金属沉积现象,因此无氰镀金溶液循环常采用磁悬浮泵作为动力源。