摘要
光学冷加工正朝着数控加工和高效加工方向发展,然而,传统的手工修抛工艺在某些特定的场合仍有其必要性和存在的合理性。本文针对单点金刚石飞切加工的小尺寸硅单晶异形平面光学元件表面质量不能满足使用要求的问题,通过对比手持旋转抛光头对固定工件抛光和手持工件采用古典抛光机抛光两种方式,研究不同手工抛光方式对硅单晶小尺寸异形平面表面质量的改善效果。实验发现当控制好抛光时间,操作手法适当时,两种方法对工件原有面形均不会造成显著变化,而对工件表面粗糙度Ra有明显改善。比较而言,手持抛光头抛光会在工件表面产生道子,采用抛光机抛光效率优于手持抛光头抛光,且工件表面质量满足使用要求。
