摘要
随着半导体行业的发展,全自动湿制程清洗设备面临更新换代。在迭代过程中存在不同规格晶舟共用机械手臂的情况,这对机械手臂夹持机构提出了更高的适应性需求。鉴于此,对机械手臂夹持机构进行了优化设计,采用电动滑台驱动引导块,利用引导沟槽将直线行程转化为摇臂旋转,配合PLC及光电传感器对电动滑台的行程进行控制,实现末端夹持机构对不同规格晶舟夹持的自动适应性切换,解决了电机驱动方案夹持不对称及气缸驱动方案开合度单一的问题。通过建立夹持开合机构的优化模型,进行实验验证分析,确定了设计理论的有效性及准确性,为持续性优化提供了参考。
