摘要
5月27日,由北京化工大学等单位共同完成的超纯净电子化学品高效、绿色制造技术项目,在北京通过了由中国石油和化学工业联合会组织的成果鉴定。由中国科学院院士、清华大学教授费维扬,中国化工学会教授级高工王玉庆等7位专家组成的鉴定委员会一致认为,项目团队发明了超纯净电子化学品高效提纯系列技术与装备,实现了装备的自主生产和成功应用,其核心技术处于国际领先水平。上述系列技术均具有完全自主知识产权,并已获得广泛的工业化应用,成功用于生产新一代硅基材料、系列化湿电子化学品、电子特气等,近3年来取得了显著的经济效益和社会效益。
出处
《浙江化工》
CAS
2023年第5期11-11,共1页
Zhejiang Chemical Industry