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真空镀膜机电子束蒸发器工作原理及故障处理

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摘要 根据Leybold真空镀膜机电子束蒸发器的工作原理,结合实际维修经验,分析电子束蒸发器常见故障的成因,梳理排查步骤及解决措施,总结蒸发器日常使用中的注意事项。
作者 李凯
出处 《设备管理与维修》 2023年第11期66-67,共2页 Plant Maintenance Engineering
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