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真空镀膜机电子束蒸发器工作原理及故障处理
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摘要
根据Leybold真空镀膜机电子束蒸发器的工作原理,结合实际维修经验,分析电子束蒸发器常见故障的成因,梳理排查步骤及解决措施,总结蒸发器日常使用中的注意事项。
作者
李凯
机构地区
中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
出处
《设备管理与维修》
2023年第11期66-67,共2页
Plant Maintenance Engineering
关键词
真空镀膜机
电子束蒸发器
故障处理
分类号
TN305.8 [电子电信—物理电子学]
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设备管理与维修
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