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石英部件在半导体领域应用及市场概览 被引量:1

Application and Market Overview of Quartz Products in Semiconductor
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摘要 石英部件作为集成电路、光伏等高端制造工艺中广泛应用的关键零部件,对半导体等下游产业发展具有重要意义。本文介绍了石英部件在半导体领域的应用及全球市场的主要情况,分析了半导体领域石英部件应用的未来行业趋势。 Quartz products,as key components widely used in high-end manufacturing processes such as integrated circuits and photovoltaic industry,are of great significance to the development of downstream industries such as semiconductors.This paper introduces the application of quartz products in the semiconductor field and the main situation of the global market,and analyzes the future industry trends in the application of quartz products in the semiconductor field.
作者 左政 侯洁娜 王珺 刘超 于跃东 ZUO Zheng;HOU Jie-na;WANG Jun;LIU Chao;YU Yue-dong(China Center for Information Industry Development)
出处 《中国集成电路》 2023年第6期30-35,共6页 China lntegrated Circuit
关键词 石英 石英部件 半导体 quartz quartz products semiconductor
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