基于面向微机械电子技术的自动化测量传感器设计研究

随着微型机电技术的不断发展,传感器的设计也发生了翻天覆地的变化,越来越多的自动化、微型化,为的就是实现更高的精度。因此,针对微型机电技术,研制了一种用于自动检测的传感器。传感器的设计由两部分组成,第一部分是敏感膜片、转换元件、信号调节转换电路;在此基础上,对传感器的接口和工作流程进行了详细的理论设计;第二部分按照上一阶段的设计方案制作出传感器的成品,对其进行性能测试,以确定其设计的合理性和最终产品能否满足要求。实验表明,该方法具有较高的准确度、可靠性和灵敏度;通过对该传感器的非线性、迟滞特性、重复性等测试数据的分析,验证了该传感器的设计是合理的。