摘要
主要技术与性能指标,等离子体离化率:Ti等离子体>80%,离子能量控制:10-1000 eV,离子注入电压:40 kV(可定制),搭载等离子体诊断系统(OES)、离子能量监控系统,朗缪尔探针:6个检测探针,极限真空:1×10^(−4) Pa,真空室有效尺寸:Φ1000×1000 mm(按需定制),HiPIMS磁控溅射电源及阴极:6部(柱靶或平面靶选配)。
出处
《中国科学院院刊》
CSCD
北大核心
2023年第S01期45-45,共1页
Bulletin of Chinese Academy of Sciences