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系列磁悬浮分子泵

Magnetic Levitation Molecular Pump
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摘要 主要技术与性能指标,CXF-200/1401,N_(2)抽速1400 L/s,极限真空2×10^(−6) Pa(KF),额定转速33000 r/min,N_(2)压缩比107,重量51 kg CXF-250/2301,N_(2)抽速2200 L/s,极限真空2×10^(−7) Pa(CF),额定转速30000 r/min,N_(2)压缩比10^(7),重量58 kg,N_(2)压缩比10^(8),重量75 kg,主要应用产品为真空获得设备。
出处 《中国科学院院刊》 CSSCI CSCD 北大核心 2023年第S01期76-76,共1页 Bulletin of Chinese Academy of Sciences

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