摘要
为解决薄膜材料物理实验在大学物理实验教学中实验仪器昂贵,实验过程高危等困难,设计与建设了“磁控溅射镀膜和原子力显微镜(AFM)在氢化纳米硅制作过程中的应用”虚拟仿真实验.此虚拟仿真实验项目借助3D技术,真实还原并模拟了实验场景与过程,人机交互程度高,可操作性强.通过三年的教学实践与网络平台推广,取得了良好的教学效果以及学生的一致好评.
出处
《物理通报》
CAS
2023年第8期111-116,共6页
Physics Bulletin
基金
南方科技大学本科教学质量及教学改革工程项目基金资助,项目编号:Y01201823
广东省示范性虚拟仿真实验教学项目.