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薄膜材料虚拟仿真实验的建设与教学实践——磁控溅射镀膜和原子力显微镜(AFM)在氢化纳米硅薄膜制作过程中的应用 被引量:1

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摘要 为解决薄膜材料物理实验在大学物理实验教学中实验仪器昂贵,实验过程高危等困难,设计与建设了“磁控溅射镀膜和原子力显微镜(AFM)在氢化纳米硅制作过程中的应用”虚拟仿真实验.此虚拟仿真实验项目借助3D技术,真实还原并模拟了实验场景与过程,人机交互程度高,可操作性强.通过三年的教学实践与网络平台推广,取得了良好的教学效果以及学生的一致好评.
出处 《物理通报》 CAS 2023年第8期111-116,共6页 Physics Bulletin
基金 南方科技大学本科教学质量及教学改革工程项目基金资助,项目编号:Y01201823 广东省示范性虚拟仿真实验教学项目.
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