论文摘要

论文名称:显示器件高阻隔薄膜封装层原子尺度制备工艺与性能研究论文作者:华中科技大学/李云指导教师:陈蓉《研究领域:微纳制造、原子层沉积方法、工艺与装备》,以OLED代表的柔性显示易被空气中的水氧侵蚀造成性能下降,针对封装层高阻隔性和不断提升的柔性需求之间的矛盾。