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论文摘要
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摘要
论文名称:显示器件高阻隔薄膜封装层原子尺度制备工艺与性能研究论文作者:华中科技大学/李云指导教师:陈蓉《研究领域:微纳制造、原子层沉积方法、工艺与装备》,以OLED代表的柔性显示易被空气中的水氧侵蚀造成性能下降,针对封装层高阻隔性和不断提升的柔性需求之间的矛盾。
出处
《金属加工(冷加工)》
2023年第8期I0028-I0031,共4页
MW Metal Cutting
关键词
原子层沉积
微纳制造
原子尺度
柔性显示
显示器件
华中科技大学
高阻隔薄膜
高阻隔性
分类号
TP3 [自动化与计算机技术—计算机科学与技术]
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金属加工(冷加工)
2023年 第8期
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