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基于三阶速度和四阶位移的轨迹规划方法研究(续)

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摘要 此外,考虑加速度限制时,最大加速度出现在t_(3)时刻,即由t_(st_d)和t_(st_j)确定的最大加加速度a_(st_2)=d_(max)t_(st_d)t_(st_j)+d_(max )t^(2)_(st_d)。如果a_(st_2)<a_(max),则t_(st_j)满足加速度限制要求,否则需要重新计算t_(st_j),此时令a(t_(3))=a_(max)。
出处 《电子工业专用设备》 2023年第4期61-64,共4页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
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二级参考文献20

  • 1刘一声.新型致动器及其应用的开发[J].压电与声光,1994,16(5):19-26. 被引量:8
  • 2谢传钵.分步重复投影光刻机精密快速定位工件台研究[J].光电工程,1996,23(4):65-72. 被引量:10
  • 3王建林,刘文晖,胡晓东,胡小唐.压电微位移器在超微定位系统中的应用[J].压电与声光,1997,19(2):95-97. 被引量:12
  • 4高宏 李庆祥 等.亚微米弹性微位移工作台系统的设计及精度分析[J].清华大学学报,1988,28(5):19-28.
  • 5Yin Chunyong,Optical Engineering,1999年,38卷,8期,1361页
  • 6高宏,清华大学学报,1988年,28卷,5期,19页
  • 7Ryu Jae W,Mechatronics,1999年,9卷,6期,657页
  • 8E. I. Verriest, F. L. Lewis, "On the Linear quadratic minimum-time problem", IEEE TRANSACTIONS ON AUTOMATIC CONTROL, 1991, 36 (7) : 859-863.
  • 9Dick de Roover, "Motion control of a wafer stage" [Phd Thesis], The Netherland: Delft University, 1997.
  • 10朱煜.超精密气浮运动工作台关键技术研究[D].北京:清华大学,2003.

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