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四氯化硅冷氢化工艺及机理的研究进展 被引量:1

Research progress on process and mechanism for cold hydrogenation of silicon tetrachloride
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摘要 介绍了国内外冷氢化过程的研究现状,综述了对冷氢化过程工艺优化、热力学分析以及反应机理等领域的研究进展,分析了目前研究与工业应用之间的差距,并展望了未来的研究方向。 Global research status of cold hydrogenation process for silicon tetrachloride is introduced.Research progress in process optimization,thermodynamic analysis and reaction mechanism of cold hydrogenation process is reviewed.The gap between research and industrial application at present is analyzed,and the future research direction is prospected.
作者 刘继三 丁哲 张豪豪 陈锦溢 华超 陆平 LIU Ji-san;DING Zhe;ZHANG Hao-hao;CHEN Jin-yi;HUA Chao;LU Ping(Hualu Engineering and Technology Co.,Ltd.,Xi'an 710065,China;Key Laboratory of Green Process and Engineering,Institute of Process Engineering,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100190,China)
出处 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2023年第7期30-34,共5页 Modern Chemical Industry
基金 科技部重点研发计划(2019YFC1907600) 宁夏回族自治区重点研发计划(2020BDE02025)。
关键词 多晶硅 冷氢化 热力学 反应机理 气固反应 第一性原理 polysilicon cold hydrogenation thermodynamics reaction mechanism gas-solid reaction first principles thinking
  • 相关文献

参考文献7

二级参考文献76

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共引文献39

同被引文献7

引证文献1

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