针对大颗粒清洗系统的研发设计

Research and design of large particle cleaning system

玻璃基板作为平板显示器件的基础部件,是产业的关键材料之一,保证其表面的清洁度在工艺链中非常重要。TFT-LCD的制造过程中,主要采用了湿式清洗及超声波干式清洗等方法对玻璃基板的表面进行清洁,其主要针对微米级颗粒进行清洗,而后工艺模组段对毫米级颗粒比较敏感,且未有相关配套清洗系统。为应对模组段玻璃基板的清洁,以大颗粒的Particle为研究对象进行受力分析及理论计算,得出不同材质及大小的Particle悬浮所需要的风速。对清洗系统进行前期建模设计,并分析可行性,着重对其机械结构设计与气流进行分析研究,通过流体软件对负压腔体内的流体及压力分布进行分析。实体加工后进行实验,将实验结果与流体分析结果及理论计算进行对比验证分析。研发的清洗系统可在满足模组段玻璃基板清洁效率的前提下,提高产品的良率,不仅可以节约投资成本,同时也提高了产线的经济效益。