芯片阻抗测试方法的研究:一个新视角

伴随着半导体技术的进步和信息产业的快速发展,射频/微波半导体器件的应用广泛性在不断增加[1]。因此,对于这些器件参数的精确测量在设计阶段的重要性也随之上升。这不仅对芯片的设计者产生了深远影响,他们需要准确测量芯片的各项参数,同时也使得芯片的使用者期待获得准确的参数。在微波网络的S参数测量中,需要处理由于芯片键合线和传输线引起的测量误差[2]。因此,开发一种可以快速测量芯片阻抗、低成本、周期短且能够测量芯片相应S参数的方法具有极大的实际价值。本文从技术角度出发,探讨了这类通用的测量方法。