基于光干涉法的主轴径向跳动和偏转测量系统仿真与分析

为解决机床主轴实时动态实时测量中加入标准件而引入的误差干扰测量结果,同时存在精度与量程之间的相互制约的问题,提出采用双光束干涉法测量车床主轴偏转状态的变化参数,利用主轴外圆面反射光与参考光产生干涉图样进行分析对比并进行跟踪测量。系统包含探测部分、转动部分、俯仰部分和移动部分,分别用以测量车床主轴偏转方位、偏转角和径向位移,并进行测量精度理论分析和软件仿真,同时还设计光路折叠组件,以进一步提高测量精度和测量范围。