X射线能量色散谱分析

X射线能量色散谱仪(Energy dispersive X-ray spectroscopy,EDS),简称能谱仪,是扫描电镜和透射电镜的基本配置。应用能谱仪可以对材料的化学成分进行定性和定量分析,利用电子通道效用可以分析原子在有序晶体中的晶格位置。分析型透射电镜的重要附件还包括电子能量损失谱仪(Electron-energy-loss spectroscopy,EELS)。