基于变压器油中乙炔气体的MEMS传感器研究

Research on MEMS Sensors Based on Acetylene Gas in Transformer Oil

本文通过对新型MEMS气体传感器的电流-电压特性测试,得到了传感器电阻温度系数符号发生转变的点,即TCR转折点,模拟变压器油中环境对新型MEMS气体传感器的气敏特性测试,结果显示传感器对变压器油中气体具有良好的响应,输出特性曲线呈现较好的线性度,灵敏度达13mV/1%C2H2,可以实现检测气体的要求,具有较大的社会效益和经济效益。