期刊文献+

浅析LCD(A-Si)制造工艺中节距偏差、套准精度影响因素

下载PDF
导出
摘要 本论文从玻璃基板热性能及曝光补偿工艺、CVD型号及腔体、Gate材质等方面来探究阵列制程中TP及OL影响因素,通过验证及数据对比方式,呈现以上因素对TP及OL影响程度,并为LCD-阵列制程中TP及OL问题对策提供一定参考及改善方向。
出处 《建筑玻璃与工业玻璃》 2023年第8期23-27,31,共6页 Architectural Glass and Functional Glass
  • 相关文献

参考文献4

二级参考文献16

共引文献12

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部