基于XTR106的电容薄膜真空计信号检测电路的实现

电容薄膜真空计目前国外知名品牌如MKS、INFICON部分或者全型号禁售禁止销售,或者采购周期长达半年甚至一年多。同时,电容薄膜真空计的信号检测方法很多种,例如LC谐振法,RC谐振法,电桥法等,高精度检测电路对电容薄膜真空计的输出精度影响很大,为满足国产化需求,本文主要对基于XTR106的电容薄膜真空计信号检测电路进行研究。首先,对构建电容薄膜真空计检测原理等效模型,并对电容薄膜真空计的等效原理电路进行理论分析;然后,根据电容薄膜真空计的等效原理模型,搭建与之相匹配的信号检测电路;最后,通过对比法进行测试,既对所研制的电容薄膜真空计与MKS型号为626C11TBE、量程为0-1333.2 pa的电容薄膜真空计进行对比测试实验,实验结果表明,电容薄膜真空计输出线性误差为0.242%,满足0.25%的设计要求。