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投资70亿元,增芯300mm晶圆制造产线项目封顶

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摘要 近日,增芯300mm先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目正式封顶。目前已转入机电安装阶段,计划今年12月开始设备搬入及装机,预计2024年6月通线。据悉,该项目由广州湾区智能传感器产业集团有限公司发起,位于增城经济技术开发区,投资70亿元。根据规划,增芯项目将建设月加工能力达2万片的300mm MEMS制造生产线。项目投入使用后的产品为力学、声学、微流控、生物等传感器件及配套ASIC芯片,将逐步形成产业聚集效应。
出处 《中国集成电路》 2023年第11期51-51,共1页 China lntegrated Circuit
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