洁净控制与静电防护实时监测系统

1方案目标洁净控制及静电防护技术属于实时监测与控制技术领域,是服务于高科技行业、关系国计民生的新兴产业,主要应用领域为电子行业、生物医药等战略新兴产业,是智能制造体系的基础支撑技术,在医疗、生物制药、电子、半导体制造、高端装备制造等领域都取得了广泛的应用。