晶盛机电成功研发8英寸碳化硅外延设备

近日,晶盛机电成功研发出具有国际先进水平的8英寸单片式碳化硅外延生长设备,引领国内碳化硅行业技术升级。该设备可实现掺杂均匀性4%以内的外延质量,是晶盛机电在第三代半导体设备领域的又一次重要技术突破。