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浅谈大型电子厂房洁净室华夫板结构平整度控制技术
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摘要
基基于宝鼎(杭州)乾芯半导体集成电路厂房洁净室建造经验,详细阐述了大型电子厂房华夫板平整度控制的关键工艺,能够有效保证华夫板施工质量完全达到“内实外光”的要求。
作者
赵强
王建芳
机构地区
中国化学工程第十四建设有限公司
出处
《石油化工建设》
2023年第8期102-104,115,共4页
Petroleum and Chemical Construction
关键词
大型电子厂房
洁净室
华夫板结构
平整度控制
分类号
TU741.1 [建筑科学—建筑技术科学]
TQ082 [化学工程]
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