浅谈大型电子厂房洁净室华夫板结构平整度控制技术

基基于宝鼎(杭州)乾芯半导体集成电路厂房洁净室建造经验,详细阐述了大型电子厂房华夫板平整度控制的关键工艺,能够有效保证华夫板施工质量完全达到“内实外光”的要求。