以激光为“眼” 探世界精微——记哈尔滨工业大学超精密激光干涉测量团队

激光干涉测量技术具有测量精度高、空间分辨率高、时间分辨率高等显著优势,已成为超精密测控和微纳尺度测量的最有效手段之一,在科学研究、应用技术开发和精密仪器设备制造中得到广泛应用。但长久以来,因为高端激光干涉测量仪器核心技术的空白,我国不得不长期依赖进口,甚至遭遇封锁。