稀土专利摘编

一种铋取代稀土铁石榴石的划切方法申请号:CN202210792208.6(公开)日期:2022.12.02申请(专利权)人:电子科技大学一种铋取代稀土铁石榴石的划切方法,属于光通讯器件技术领域。包括以下步骤:1)采用液相外延法在SGGG基片上制备Bi取代稀土类铁石榴石单晶膜,得到带单晶膜的SGGG基片;2)通过在蓝膜上黏贴软弹性垫后再将带单晶膜的SGGG基片固定于软弹性垫上,或者通过PDMS封装的方式,将带单晶膜的SGGG基片固定于蓝膜上;3)采用划片机将带单晶膜的SGGG基片切割为11毫米×11毫米的小片。本发明提出的一种铋取代稀土铁石榴石的划切方法,采用具有弹性的软体保护晶片,使晶片完美贴合软体,抑制晶片在切割过程中的振动和位移;同时通过软体缓冲晶片切割过程中产生的应力释放,有效防止了划切过程中的崩裂。