ASM2000外延设备加热系统运行状态的研究

本文研究一种关于ASM2000设备加热系统运行状态的方法,针对机台只有加热灯管损坏后才有报警的机制,提出一种基于PLC的灯管电阻监控方法,可以监测灯管的运行趋势。利用灯丝电阻的变化,来反应灯管的运行状态,由于电阻受温度影响较大,所以选在处理基座的时间采集数据。实验结果表明,同在处理基座的时候,机台间差异最小,且电阻处于整个外延过程的峰值,在灯管更换周期内,具有明显的趋势变化,在极限实验下,灯管损坏的前一周内,电阻有急剧下降趋势直至某一刻损坏。本研究方法可以在保证质量的前提下,最大限度地使用加热备件。