精密切削加工表面质量的研究与探讨

随着航空航天、国防、医疗、生物等领域的快速发展,对微型器件功能、结构复杂度、可靠性等方面的要求不断提高。但当前以MEMS为主的微纳制造技术,多采用基于半导体工艺的微纳制造技术,且所采用的材料较为单一。与此同时,MEMS技术更倾向于制造平面形状的微型零件或微型元件,这对制造任意形状的微型零件有很大的局限性。利用微机电系统(MEMS)制造技术,可实现多个不同材质、不同外形的微细3D构件,其制造的各类微细构件具有越来越广泛的应用前景。