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TFT-LCD基板玻璃生产车间洁净服的清洗规范要求

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摘要 0引言。TFT-LCD基板玻璃制程中对环境洁净度要求很严格,以满足洁净生产厂房的要求。从热端成型加工到冷端检验包装都有每个工序洁净度等级划分,尤其是在末端成品检验及包装工位洁净场所,操作者洁净服的洁净度是现场一个关键控制点,洁净服和配套品污染或污染物会直接接触到产品,造成产品损失或浪费。
出处 《建筑玻璃与工业玻璃》 2023年第12期27-29,共3页 Architectural Glass and Functional Glass
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