摘要
一种六氟化钨纯化装置申请(专利)号:CN202322145782.5公开(公告)日:2024-02-20申请(专权)人:昊华气体有限公司摘要:本实用新型公开了一种六氟化钨纯化装置,包括筒体、热媒夹套、冷媒盘管、波纹管密封模块;筒体包括上封头、下封头以及中间的直筒段;热媒夹套设置在筒体外下半段,冷媒盘管设置在筒体内下半段,波纹管密封模块设置在筒体内上半段。
出处
《低温与特气》
CAS
2024年第1期37-37,40,共2页
Low Temperature and Specialty Gases
