发明与专利

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一种图像传感器及其制作方法。申请号:202311139638.9。【申请日】2023.09.05。【公开号】CN116936593A。【公开日】2023.10.24。【分类号】H01L27/146。【申请人】合肥海图微电子有限公司。【发明人】李岩;范春晖;夏小峰;赵庆贺;刘阳。【摘要】本发明公开了一种图像传感器及其制作方法,属于半导体技术领域。所述图像传感器包括:衬底;光电二极管,设置在所述衬底内;转移管,设置在所述衬底上,所述转移管包括转移栅极,所述转移栅极的一侧与所述光电二极管的边缘对齐;增强沟槽设置在所述转移栅极的下方的所述衬底内,且所述增强沟槽与所述光电二极管接触设置;压电层,设置在所述增强沟槽的侧壁和底部,以及所述转移栅极靠近所述光电二极管的一侧底部;浮动扩散区,设置在所述转移栅极相对于所述光电二极管一侧的所述衬底内。通过本发明提供的一种图像传感器及其制作方法,能够提高光电荷转移效率,减少图像传感器的暗电流。