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半导体晶圆检测关键连续波深紫外激光光源研制
被引量:
1
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摘要
深紫外激光是半导体领域的关键光源。基于非线性频率变换的全固态深紫外激光具有结构紧凑、价格低廉等优势,有广泛需求。受限于晶体非线性系数较线性介电常数小数个数量级,深紫外激光通常以具有高峰值(千瓦级)的脉冲形式获得,连续波深紫外激光效率较低,其实用化极其困难。高峰值的紫外激光通常会对半导体表面及内部产生损伤,限制了半导体晶圆缺陷等装备的应用和发展。
作者
徐国锋
王正平
王树贤
武奎
梁飞
路大治
张怀金
于浩海
机构地区
山东大学晶体材料研究院
出处
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2024年第4期739-739,共1页
Journal of Synthetic Crystals
关键词
半导体领域
半导体表面
连续波
深紫外激光
非线性系数
半导体晶圆
脉冲形式
介电常数
分类号
TN248 [电子电信—物理电子学]
TN307 [电子电信—物理电子学]
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人工晶体学报
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