工业半导体厂房净化空调系统设计与应用研究

Design and application of purification air conditioning system in industrial semiconductor plant

工业半导体厂房对温度、湿度、空气洁净度提出了较高的要求,需要通过净化空调系统控制核心生产区域的环境参数。探讨了净化空调系统的设计方案,构建了节能评价指标体系,并分析了各个子系统的节能应用效果。结果显示:工业半导体厂房净化空调系统由水系统、风系统、热源系统组成;净化空调系统的整体节能效果较好。在实际应用管理中,可通过建立节能评价指标监控系统,确定高能耗节点,从而制定节能优化措施。