浅谈半导体制造设备点检的必要性

半导体制造设备的稳定性对集成电路生产至关重要,因此及时发现并消除设备隐患,提高设备的稳定性和可靠性尤为重要。在设备管理方面,点检是发现设备隐患的有效手段之一。