工艺循环冷却水开式系统设计与应用

Design and application of process circulating cooling water open system

在半导体器件设备、电子元件及电子专用材料制造等电子厂房设计时,为对工艺设备进行降温,必不可缺的需要设计工艺循环冷却水系统。工艺循环冷却水系统分为开式系统和闭式系统,文章对工艺循环冷却水开式系统进行分析,通过对工艺循环冷却水的工作原理、系统组成、系统设计等内容的介绍与项目经验的总结,以期为工艺循环冷却水系统设计提供参考。