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面板制程中T-M1-FimBroken影响的分析与研究

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摘要 0引言在TFT-LCD玻璃基板后加工过程中,面板生产加工的所有制程都依赖于玻璃基板表面,因此玻璃基板的品质对面板工艺以及品质有重要的影响。T-M1-FimBroken(破膜)是面板生产过程中影响良率的一个主因,而造成这一主因发生的是面板的原料液晶基板玻璃出现了问题,因此研究范围定义在液晶基板玻璃的后加工制造。
作者 王颖 种鹏昆
出处 《建筑玻璃与工业玻璃》 2024年第7期18-21,共4页 Architectural Glass and Functional Glass
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