三星NAND材料价值链生变 将引入钼元素

三星正在其第9代V-NAND的金属化工艺过程中应用钼(Mo)。消息人士称,三星已从泛林集团引进5台钼沉积机用于该工艺,并且计划2025年再引进20台此类设备。与六氟化钨(WF_(6))不同的是,钼前驱体是固体,需要使用这些设备将其加热到600℃,以转化为气体。在三星的第9代V-NAND生产中,一种应用使用钨,另一种应用使用钼。