经济型ZAO薄膜制备及其近红外光电性能

本文采用射频磁控溅射技术制备了ZnO:Al(ZAO)薄膜态透明电极,并配合WO_(3)电致变色薄膜、固态Li^(+)聚合物电解质和TiO_(2)对电极薄膜,封装成一种经济型电致变色器件。采用XRD、AFM、分光光度计和四探针测试仪表征ZAO薄膜的结构、形貌和光电性能,并采用直流稳压电源、分光光度计测试电致变色器件的变色性能。结果表明,所制ZAO薄膜沿(002)晶面择优取向,表面组织致密,当气压为1.0 Pa时,薄膜光电性能最佳,以此为透明导电层的电致变色器件可以循环着/褪色,近红外区的调制幅度大于可见光区,适用于节能窗。