“激光光刻技术”专题前言

集成电路产业是现代信息社会的基石,其飞速发展与其制造工艺——光刻技术的进步密不可分。随着人工智能、光量子芯片等信息技术的发展,激光光刻凭借非接触式加工方式、高分辨率、低成本等优势,已成为制备定制化、功能化、集成化精密元器件的关键技术。