第三代半导体碳化硅单晶衬底技术与市场发展趋势——专访山西烁科总经理助理马康夫

第三代半导体材料碳化硅领军企业烁科晶体总经理助理马康夫专访)在半导体产业链中,以先进陶瓷为代表的关键零部件是支撑半导体设备实现先进制造的重要载体,也是目前国产化替代的重要领域。同时,以碳化硅为代表的第三代半导体材料已展现出极其重要的战略性应用价值,其中碳化硅单晶制备占据价值链最核心位置。