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日本最新成果有望带来光刻机技术新方案

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摘要 2024年7月29日,日本冲绳科学技术大学院大学(OIST)发布了新研究成果,该校的新竹积1教授提出了一种突破性的EUV光刻技术,有望大幅降低传统技术的复杂度和生产成本。除此之外,日本佳能公司的纳米压印(Nano-imprint)技术也有潜力为光刻机市场贡献新的技术解决方案。

作者王维

机构地区不详

出处《环球财经》 2024年第9期105-109,共5页 Global Finance

关键词光刻机纳米压印日本佳能公司技术解决方案日本冲绳 EUV光刻生产成本研究成果

分类号 TN3 [电子电信—物理电子学]

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