摘要
微纳器件因具有高集成度与高功能性,被广泛用于航空航天、生物医学、新型材料等领域,极大地推动了现代科学技术的发展。与微纳器件对应的微纳加工技术,在全球缺“芯”的现状下,已经成为备受关注的研究领域,相关高端装备与技术的研发也是当前我国发展战略的重要内容之一。与传统投影光刻技术、电子束直写等技术相比,激光直写技术是微纳加工技术中最具有潜力解决真三维、复杂微纳结构加工难题的微纳加工技术。2024年1月22日,Nature杂志发表了题为“Seven technologies to watch in 2024”的文章,3D纳米激光直写技术便是Nature杂志2024年值得关注的七项技术之一。
