小型化开关滤波器硅基异构集成设计研究

在通信系统小型化发展趋势下,利用硅基微机电系统(MEMS)异构集成技术开发了一种通带频率为9.5 GHz~18.5 GHz、6通道高性能小型化开关滤波器产品。阐述开关滤波器的工作原理,介绍其设计方式,并进行样品制备与测试。该产品测试指标与设计仿真结果吻合,具有小体积、高性能、低功耗、易使用等特点,在通信工程上具有广阔的应用前景。