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石英制品,剑指半导体百亿市场
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摘要
石英玻璃材料及制品作为重要耗材应用于芯片制造多个环节。近年来,半导体产业的高速发展和国家政策的大力支持,为石英材料和制品提供了广阔的市场空间。半导体行业用石英制品石英制品在下游应用广泛,产品贯穿集成电路产业的各个环节,以石英砂到芯片的生产过程为例,生产过程将使用到石英坩埚、石英钟罩、石英扩散管、石英舟、石英玻璃基片等不同类型的产品。
出处
《中国粉体工业》
2024年第5期53-55,共3页
China Powder Industry
关键词
集成电路产业
半导体产业
芯片制造
半导体行业
石英坩埚
石英玻璃
石英制品
扩散管
分类号
F42 [经济管理—产业经济]
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.中国集成电路,2023,32(6):30-35.
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2
陈娅丽,沈建明,汤明明,王蒙非,钱宜刚,丁杰,马俊逸.
光掩膜石英玻璃基板的制造工艺概述[J]
.玻璃搪瓷与眼镜,2021,49(4):39-43.
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1
宋学富,孙元成,钟海,王宏杰,顾真安.
等离子体化学气相沉积法合成石英玻璃(英文)[J]
.硅酸盐学报,2008,36(4):531-534.
被引量:12
2
赵约民,邓明安.
抗高温形变石英玻璃的研究[J]
.中国建筑材料科学研究院学报,1989,1(6):253-260.
被引量:1
3
李刚,欧书方,赵敏健.
石英玻璃纤维的性能和用途[J]
.玻璃纤维,2007(4):9-13.
被引量:19
4
张银霞,郜伟,康仁科,郭东明.
单晶硅片磨削的表面相变[J]
.光学精密工程,2008,16(8):1440-1445.
被引量:10
5
张武男.
石英玻璃退火工艺的研究[J]
.科技信息,2010(9):125-125.
被引量:4
6
仇中军,周立波,房丰洲,椎名刚志,江田弘.
石英玻璃的化学机械磨削加工[J]
.光学精密工程,2010,18(7):1554-1561.
被引量:27
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王玉芬,宋学富,孙元成,徐驰,王蕾.
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隋梅,孙元成,宋学富,王宏杰.
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.武汉理工大学学报,2010,32(22):106-110.
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