尘埃粒子计数器校准方法现状

Current status of airborne particle counters calibration methods

0引言。空气中悬浮粒子的测量在集成电路、食品药品检验、医疗卫生、电子制造、精密加工等行业的质量控制中都不可或缺。而尘埃粒子计数器(OPC)作为评价洁净环境洁净度等级的重要工具,其测量结果的准确可靠尤为重要,因此,对尘埃粒子计数器校准方法的研究具有重要意义。