纳米离子注入提高镍片表面硬度

通常在镍的浅表面注入氧离子和铝离子，可形成纳米尺寸的氧化镍或者氧化铝注入物。用有限元模型和纳米压痕实验方法，确定了处理层的屈强度。屈服强度可以达到5GPa，远远高于轴承钢的强度。这些结果与以传输电子显微镜观察的注入物微构为基础的分散强化理论预估值喧量分析吻合得很好。通过离子注入提高表面硬度，可以改进镍器件在微机电系统中的应用。