摘要
介绍80年代发展起来的、新的高精度扫描隧道显微技术、干涉计量技术、亚纳米级轮廓仪及光的角散射分布测量技术。
In this paper we introduce a new and high-accu-
racy scanning tunneling microscopy,interferometry,sub-
nanoprofilometer and light angular scattering distribution
measurement technique,which have been developed since
the beginning of 1980's.
出处
《测控技术》
CSCD
北大核心
1992年第2期17-20,共4页
Measurement & Control Technology
基金
航空科学研究基金
