摘要
在开发各种光学微机电系统(MEMS)的竞争中,恰当选择专门为MEMS设计而开发的软件工具能极大地获益,如节省时间、扩大市场、降低开发费用和降低风险等.光学MEMS可用标准的计算机辅助机械设计(MCAD)方法或者用电子设计自动化(EDA)工具进行设计,但MEMS的特殊性,诸如多物理范畴、加工工艺和标定等对当今现有技术提出了严峻的挑战.所以,支持自顶向下设计的软件在快速、精确地MEMS开发中会起关键作用.
出处
《光机电信息》
2002年第11期23-24,共2页
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