亚毫米多晶硅微齿轮的初步研制

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摘要自1989年美国加里弗尼亚大学报导采用IC技术首次成功地制作了微型静电电动机(转子直径为60μm和120μm)之后,以硅材料为主的微机械加工技术得到了世界各国科学家的高度重视和大力发展.微齿轮是微电动机的主要构件,通过它的研制。

作者苏毅赵新安谭淞生王渭源

机构地区中科院上海冶金所

出处《传感技术学报》 CAS CSCD 1992年第3期40-43,共4页 Chinese Journal of Sensors and Actuators

关键词齿轮亚毫米多晶硅

1屈延文,董浩然.我国IC卡及其系统的安全问题与对策[J].金卡工程,2002,6(2):1-8.
2藤田博之,新培智.利用IC技术制作微型传动装置[J].西部高新科技,1995(2):34-34.
3藤田博之,赵日功.利用IC技术的微型传动装置[J].日本的科学与技术,1992(5):19-24.
4曹长江,张琛,李振波,肖永利.微装配系统中精密定位装置的研制[J].上海交通大学学报,2000,34(11):1483-1485. 被引量：6
5官丽梅,王维明,周洪军,高向宇.内窥镜及相应配套设备计量检定装置的初步研制[J].医疗卫生装备,2005,26(11):74-74. 被引量：12
6陈文元,张卫平,范志荣.微3K-2型行星齿轮减速器中微齿轮啮合模型和参数计算[J].上海交通大学学报,2000,34(3):381-383. 被引量：5
7廖斌,郑小林,邓小燕,彭承琳,曹涌,候文生,张文献,皮喜田,赵志强,崔建国.电动全人工心脏原型样机的初步研制[J].医疗卫生装备,2006,27(9):3-4. 被引量：6
8吴明明,周兆忠,巫少龙.单晶硅片的制造技术[J].制造技术与机床,2005(3):72-75. 被引量：10
9费强,金伟,姜杰,周建光,郇延富,范茜,金钦汉.电喷雾矩形离子阱质谱仪的初步研制[J].现代科学仪器,2008,25(4):57-59. 被引量：2
10特雷克斯在战略转型中持续增长[J].建筑机械化,2016,37(12):7-7.

传感技术学报

1992年第3期

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